基于PN结级联的高效多晶硅光源实现

基于PN结级联的高效多晶硅光源实现

科技日报讯 (陶玉祥 记者盛利)记者日前从电子科技大学获悉，该校徐开凯课题组借助标准硅IC工艺研制出单片集成的全硅发光器件，实现基于PN结级联的高效多晶硅光源，在全硅半导体光电器件与集成技术领域取得新突破，为我国集成电路产业蓬勃发展奠定了坚实基础。

近年来，硅基光电集成回路(OEIC)愈发受到重视，但在保证光源制造工艺兼容现有集成电路工艺的同时，如何提高硅基光源的量子效率一直是该领域研究重心。科学家们已发现，利用硅基光电子器件与CMOS(互补金属氧化物半导体)工艺兼容这一独特优势，正令光电子器件的大规模集成成为可能。

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